该专业重点培养纳米技术和微系统技术领域的专业人员。这种跨学科的教育方法旨在培养应用和基础研究型人员。在学习过程中,硕士生们将基于纳米材料、纳米技术工艺和纳米技术设备的综合使用,获得各种功能用途的产品和技术的开发、设计和优化领域的独立工作技能。